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Autor(en):
Ulm, M.; Vietzorreck, Larissa; Reimann, M.; Walter, T.; Müller-Fiedler, R.; Kaspar, E.; Russer, Peter 
Titel:
Silicon-Based Millimeterwave MEMS Switches 
Kongress- / Buchtitel:
International Symposium on Signals, Systems, and Electronics (ISSSE) 
Verlagsort:
Tokyo, Japan 
Jahr:
2001 
Monat:
jul 
Seiten:
110--113