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Autor(en):
Vietzorreck, Larissa; Russer, Peter 
Titel:
Numerical Investigation of Micromachined Structures 
Kongress- / Buchtitel:
1st VDE World Microtechnologies Congress (MICRO.tec) 
Verlagsort:
Hannover, Germany 
Jahr:
2000 
Monat:
sep 
Seiten:
97--100