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- Autor(en):
- Vietzorreck, Larissa; Russer, Peter
- Titel:
- Numerical Investigation of Micromachined Structures
- Kongress- / Buchtitel:
- 1st VDE World Microtechnologies Congress (MICRO.tec)
- Verlagsort:
- Hannover, Germany
- Jahr:
- 2000
- Monat:
- sep
- Seiten:
- 97--100
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