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Originaltitel:
Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers 
Übersetzter Titel:
Microfabrication and Microassembly for the Manufacturing of a Piezoelectrically Driven Microdrop Generator 
Jahr:
2016 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Maschinenwesen 
Betreuer:
Lüth, Tim Christian (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Lüth, Tim Christian (Prof. Dr.); Schwesinger, Norbert (Prof. Dr.) 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
FER Fertigungstechnik 
Stichworte:
Mikrofertigung, Mikromontage, Mikrosystemtechnik, Mikrotropfenerzeuger 
Übersetzte Stichworte:
microfabrication, microassembly, MEMS, microdroplet generation 
TU-Systematik:
MED 370d 
Kurzfassung:
In vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. In weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfa...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
This work describes methods for the manufacturing process of function models for the microtechnology in a time- and cost-saving manner. For the microstructuring operations of substrates the manufacturing parameters of laser beam micromachining as well as of cut off grinding using a dicing saw are optimized. The microassembly of functional materials is successfully realized by developing a new manual microassembly system with an application tool for adhesive layers. By using the described techniq...    »
 
Mündliche Prüfung:
20.10.2016 
Dateigröße:
4869313 bytes 
Seiten:
142 
Letzte Änderung:
17.11.2016