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Dokumenttyp:
Report / Forschungsbericht 
Autor(en):
Yong, T. K. 
Titel:
Characteriztion of Convex Corner Compensation for Bent V-Grooves in Anisotropic Silicon KOH Etching 
Beauftragende Einrichtung:
Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme 
Jahr:
2014 
Jahr / Monat:
2014-12 
Format:
Text