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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Kuenzig, T.; Schrag, G.; Nawaz, M.; Herrmann, M.; Dehe, A.; Wachutka, G.
- Titel:
- System-Level Modeling of Silicon Microphones Including Distributed Effects
- Kongress- / Buchtitel:
- EUROSENSORS 2014, the XXVIII edition of the conference series
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Brescia, Italy, Sept. 7-10, 2014
- Verlag / Institution:
- Elsevier Procedia Engineering
- Jahr:
- 2014
- Sprache:
- en
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