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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Kuenzig, T.; Schrag, G.; Nawaz, M.; Herrmann, M.; Dehe, A.; Wachutka, G. 
Titel:
System-Level Modeling of Silicon Microphones Including Distributed Effects 
Kongress- / Buchtitel:
EUROSENSORS 2014, the XXVIII edition of the conference series 
Kongress / Zusatzinformationen:
Brescia, Italy, Sept. 7-10, 2014 
Verlag / Institution:
Elsevier Procedia Engineering 
Jahr:
2014 
Sprache:
en