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Autor(en):
Zähringer, S.; Purr, J.; Schwesinger, N. 
Titel:
Manipulation of IDT-actuated piezoelectric membrane Actuators by Silicon Clamping 
Zeitschriftentitel:
Applied Mechanics and Materials 
Jahr:
2014 
Band / Volume:
518 
Seitenangaben Beitrag:
215-219 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Verlag / Institution:
Trans Tech Publications 
Verlagsort:
Switzerland