Enabling Technologies for System-Level Simulation of MEMS

Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L.

Dokumenttyp:: Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:: Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):: Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L.
Titel:: Enabling Technologies for System-Level Simulation of MEMS
Kongress- / Buchtitel:: Proceedings of 14th International Conference on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems - EuroSimE
Kongress / Zusatzinformationen:: Wrozlaw, Poland, April 15-17, 2013
Verlag / Institution:: IEEE
Jahr:: 2013
Print-ISBN:: 978-1-4673-6137-8
Sprache:: en
BibTeX