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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz 
Autor(en):
Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L. 
Titel:
Enabling Technologies for System-Level Simulation of MEMS 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of 14th International Conference on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems - EuroSimE 
Kongress / Zusatzinformationen:
Wrozlaw, Poland, April 15-17, 2013 
Verlag / Institution:
IEEE 
Jahr:
2013 
Print-ISBN:
978-1-4673-6137-8 
Sprache:
en