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Dokumenttyp:
Buchbeitrag 
Autor(en):
Niessner, M.; Schrag, G. 
Titel:
Mixed-Level Approach for the Modeling of Distributed Effects in Microsystems 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 163-189 
Buchtitel:
System-Level Modeling of MEMS 
Verlag / Institution:
Wiley-VHC 
Verlagsort:
Weinheim 
Jahr:
2013 
Print-ISBN:
978-3-527-31903-9 
Serientitel:
Advanced Micro & Nanosystems 
Serienbandnummer:
10 
Format:
Text