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Dokumenttyp:
Report / Forschungsbericht 
Autor(en):
Goh, Z. 
Titel:
Optimization of process technology for the fabrication of a novel piezoelectric actuator 
Beauftragende Einrichtung:
Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme 
Jahr:
2013 
Jahr / Monat:
2013-03 
Format:
Text