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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz 
Autor(en):
Koerdel, M.; Alatas, F.; Schick, A.; Jongman, J.; Sekhar, C.; Rupitsch, S.J.; Lerch, R. 
Titel:
Contactless Functionality Inspection of Flat-Panel Display Pixels and Thin-Film Transistors by Capacitive Coupling 
Zeitschriftentitel:
IEEE Transactions on Electron Devices 
Jahr:
2012 
Heft / Issue:
Nov./Dez. 2012 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Status:
Verlagsversion / published 
Semester:
WS 12-13 
Format:
Text