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Originaltitel:
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation 
Übersetzter Titel:
Characterization and Optimization of Piezoelectric MEMS-Microphones Applying Physical Modeling and Simulation 
Jahr:
2014 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Seidl, Helmut (Prof. Dr.) 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
Piezo-MEMS-Mikrophon, AlN, FEM, ANOVA 
Übersetzte Stichworte:
piezo, MEMS, microphone, AlN, FEM, ANOVA 
Kurzfassung:
Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt. 
Übersetzte Kurzfassung:
A novel design approach for a piezoelectric MEMS-microphone is developed, where the multilayered membrane is able to compensate intrinsic stress caused by the fabrication process. The optimization is based on a calibrated electro-mechanical FEM model that is parameterized by significant variables as determined by a statistical analysis of variance. Eventually a Kirchhoffian network model of the package-induced damping is added, leading to the prediction of an amplified microphone sensitivity of...    »
 
Serie / Reihe:
Selected topics of electronics and micromechatronics 
Bandnummer:
47 
ISBN:
978-3-8440-3490-5 
Mündliche Prüfung:
21.11.2014 
Dateigröße:
2861438 bytes 
Seiten:
143 
Letzte Änderung:
21.05.2015