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Autor(en):
Ulm, M.; Vietzorreck, Larissa; Reimann, M.; Walter, T.; Müller-Fiedler, R.; Kaspar, E.; Russer, Peter
Titel:
Silicon-Based Millimeterwave MEMS Switches
Kongress- / Buchtitel:
International Symposium on Signals, Systems, and Electronics (ISSSE)
Verlagsort:
Tokyo, Japan
Jahr:
2001
Monat:
jul
Seiten:
110--113
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