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Originaltitel:
Modellierung und Simulation des elektro-fluid-mechanisch gekoppelten Verhaltens von Mikrobauteilen auf der Systemebene 
Übersetzter Titel:
Modeling and Simulation of the Electro-fluid-mechanically Coupled Behavior of Microsystems on the System-level 
Jahr:
2015 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Eisele, Ignaz (Prof. Dr.) 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
Mikrobauteile MEMS Modellierung Prädiktiv Simulation Experiment Validierung Systemebene 
Übersetzte Stichworte:
MEMS modeling predictive simulation experiment validation system-level 
Kurzfassung:
Der Entwurfsprozess für Mikrosensoren und -aktoren ist bisher nicht durchgängig in einer Simulationsumgebung abgebildet, da sich der Übergang von der Ebene der feldtheoretischen Kontinuumsbeschreibung zur Ebene der systembezogenen Makromodellierung mithilfe von konzentrierten oder verteilten Kompaktmodellen nicht allgemeingültig automatisieren lässt. Aus diesem Grund wird in dieser Arbeit ein automatisierbares Verfahren konzipiert, welches aus einer kontinuumstheoretischen Beschreibung physikali...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
There is no software framework available yet that allows the seamless computer-aided design of microsensors and -actors throughout the complete development process. This is because there is no general method to automate the transition in modeling needed in order to move from device-level simulation to system-level simulation. A procedure addressing this problem is compiled that allows for a dedicated class of microdevices the generation of physics-based multi-energy domain coupled system-level m...    »
 
Mündliche Prüfung:
09.02.2015 
Dateigröße:
9751696 bytes 
Seiten:
213 
Letzte Änderung:
20.02.2015