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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Niessner, M. ; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G.
- Titel:
- COMSOL API based Toolbox for the Mixed-Level Modeling of Squeeze-Film Damping in MEMS: Simulation and Experimental Validation
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the 5th Europeans COMSOL Conference
- Kongress / Zusatzinformationen:
- COMSOL CONFERENCE 2011, October 26-28, Stuttgart, Germany
- Jahr:
- 2011
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- de
- Erscheinungsform:
- CD-ROM / DVD
- Format:
- Text
BibTeX