In situ direct visualization of irradiated electron-beam patterns on unprocessed resists using atomic force microscopy

Dokumenttyp:: Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):: Koop, H., Schnurbusch, D., Müller, M., Gründl, T., Zech, M., Amann, M. C., Karrai, K., Holleitner, A.
Titel:: In situ direct visualization of irradiated electron-beam patterns on unprocessed resists using atomic force microscopy
Zeitschriftentitel:: Journal of Vacuum Science and Technology
Jahr:: 2010
Jahr / Monat:: 2010-07
Quartal:: 3. Quartal
Monat:: Jul
Heft / Issue:: 28/4
Reviewed:: ja
Sprache:: en
Volltext / DOI:: doi:10.1116/1.3457938
WWW:: http://avspublications.org/jvstb/resource/1/jvtbd9/v28/i4/p802_s1
Print-ISSN:: 1071-1023
Status:: published (reviewed)
Semester:: SS 02
TUM Einrichtung:: Lehrstuhl für Halbleitertechnologie (E26)
Format:: Text
BibTeX