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Dokumenttyp:
Patent 
Patent, Gebrauchsmuster Nr.:
DE 10393702 B4 
Erfinder:
Kreupl, Franz [DE], Hoffmann, Franz, [DE] 
Titel:
Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle, Speicherzelle und Speicherzellen-Anordnung 
Anmeldeland:
DE 
Veröffentlichungsdatum / Patent:
15.04.2010 
Jahr:
2010 
TUM Einrichtung:
Hybride Elektronische Systeme 
Format:
Text