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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Niessner, M. ; Schrag, G.; Iannacci, J. ; Wachutka, G. 
Titel:
Mixed-Level Modeling of Squeeze Film Damping in MEMS: Simulation and Pressure-Dependent Experimental Validation 
Seitenangaben Beitrag:
1693-1696 
Kongress- / Buchtitel:
Technical Digest of the 16th Int. Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems -TRANSDUCERS` 2011 
Kongress / Zusatzinformationen:
June 5-9, Beijing, China 
Jahr:
2011 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Erscheinungsform:
CD-ROM / DVD 
Semester:
SS 02 
Format:
Text