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- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Koerdel, M.; Alatas, F.; Schick, A.; Rupitsch, S.J.; Lerch, R.
- Titel:
- Impact of sensor design on the contactless inspection of planar electronic devices by capacitive coupling
- Zeitschriftentitel:
- Procedia Engineering
- Jahr:
- 2011
- Band / Volume:
- vol. 25
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 415-418
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Volltext / DOI:
- doi:dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2011.12.103
- Status:
- Verlagsversion / published
- Semester:
- WS 11-12
- Format:
- Text
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