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Autor(en):
Osswald, Patrick; Kiermaier, Josef; Becherer, Markus; Schmitt-Landsiedel, Doris 
Titel:
Focused Ion Beam Lithography for Rapid Prototyping of Metallic Films 
Seitenangaben Beitrag:
310 
Kongress- / Buchtitel:
Verhandl. DPG (VI) 
Band / Teilband / Volume:
45 
Jahr:
2010