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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Reutter, T.; Schrag, G. 
Titel:
Reliable Piezoelectric FEM-Simulations of MEMS Microphones: Basis for Intrinsic Stress Reduction" 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 193-196 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the Ninth IEEE Sensors Conference 
Kongress / Zusatzinformationen:
Nov. 1-4, 2010, Kona, Hawaii 
Jahr:
2010 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Format:
Text